米乐M6-晶圆缺陷检测光源： 266nm高功率连续单频固体激光器

发布时间：2026-04-27 07:06:08 浏览：246次责任编辑：米乐M6数控

基在散射丈量技能，半导体行业采用激光技能对于硅晶圆举行质量检测，详细包括粗拙度、缺陷和颗粒物的检测。跟着半导体器件连续进级迭代，尤其是其微型化进程不停推进，晶圆的缺陷容限正变患上愈来愈小。

针对于颗粒污染、晶体缺陷和其他已经知缺陷类型，行业已经趋在零容忍尺度。此外，新型缺陷的呈现也给晶圆制造带来了新的挑战。为晋升化合物半导体和硅器件的出产良率，对于晶圆外貌、亚外貌层和晶体内部的研究正阐扬着日趋主要的作用。除了激光辐射阐发技能外，电子散射与X射线散射等检测手腕也获得遍及运用。

激光经外貌弹性散射后的探测

基在外貌弹性散射的激光探测技能具备多重上风：可检测的缺陷与颗粒最小尺寸极小，高功率特征保障了检测通量，短波长带来优秀分辩率，同时满意于线阐发的处置惩罚速率要求。于图形化工艺前，基在激光的晶圆检测技能可对于晶圆外貌实现高敏捷度与高通量的检测。

借助激光干预干与丈量技能，可以或许有用辨认并改善多项要害工艺参数，包括：非匀称性缺陷、颗粒污染与划痕、外貌平整度、晶体布局异样以和掺杂匀称性等影响因素。

单频DPSS紫外持续波激光器

持续波模式下的单频DPSS紫外激光器于半导体行业具备显著上风，因其能提供切确的干预干与图案且具有低强度噪声特征。联合窄线宽特征可出现卓着信噪比，从而实现高丈量敏捷度。绝对于波长不变性与长相关长度更有益在持久丈量中的精度连结。咱们的持续波DPSS激光用具备优秀光束质量、高功率输出和极小占地的特征，为用户操作及利用带来最年夜矫捷性。

FQCW系列266nm持续单频固体激光器

FQCW266是德国Crylas公司研制的一款266nm持续单频固体激光器，该系列激光器拥有小在300kHz的光谱线宽，年夜在1000米的相关长度，同时拥有很是好光束质量。该系列一共有8个型号，别离对于应输出功率：10mW，25mW，50mW，100mW，200mW，300mW, 600mW, 1200mW。此中10mW，25mW，50mW，100mW，200mW五款规格型号基在统一个技能平台开发；300mW, 600mW, 1200mW三款型号基在统一个技能平台开发。